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Herstellen Von Optischen Bauelementen Aus Glas

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www.tu-ilmenau.de Themenangebot für Bachelor- und Masterarbeiten: Herstellen von optischen Bauelementen aus Glas durch reaktives Ionenätzen Im Rahmen des Projektes „Kompetenzdreieck Optische Mikrosysteme“ sollen optische Bauelemente wie beispielsweise Linsen, Prismen und Gitter mittels reaktiven Ionenätzens aus Kieselglas hergestellt werden. Speziell für diese Aufgabe wurde eine neue Plasmaätzanlage beschafft. Zur Herstellung der optischen Bauelemente müssen geeignete Maskierungsschichten getestet werden, neue Ätzprozesse entwickelt und das Design der optischen Bauelemente vorgenommen werden. Bild 1: ICP-RIE (Quelle Homepage der Firma SENTECH Instruments GmbH) Gewünschte Unterstützung durch studentische Mitarbeit Ihr Aufgabengebiet: Thema 1: Entwickeln von geeigneten Ätzprozessen und Maskierungsschichten Thema 2: Konzeptentwicklung und Design von optischen Bauelementen (z.B. ein Freistrahlinterferometer), die mittels reaktiven Ionenätzens hergestellt werden können. Empfohlene Voraussetzungen: Persönliches Interesse an Mikrosystemen, Technologie bzw. Design von optischen Bauelementen. Die genaue Aufgabenstellung erfolgt nach Absprache. Fakultät für Maschinenbau Ansprechpartner: Dipl.-Ing. Stefan Weinberger Fachgebiet Mikromechanische Systeme Telefon +49 3677 69-3421 Univ.-Prof. Dr.-Ing. habil. Martin Hoffmann [email protected] www.tu-ilmenau.de/mms Gustav-Kirchhoff-Str. 7 (ZMN) | Raum 203